內(nèi)層線路工藝

由于傳統(tǒng)曝光機(jī)的分辨率約為50m，可引入激光直接成像機(jī)(LDI)提高圖形分辨率，分辨率可達(dá)20  m左右。傳統(tǒng)曝光機(jī)的對準(zhǔn)精度為25微米，層間對準(zhǔn)精度大于50  m。采用高精度對準(zhǔn)曝光機(jī)，圖形對準(zhǔn)精度可提高到15m左右。 層間對準(zhǔn)精度可控制在30m以內(nèi)，減少了傳統(tǒng)設(shè)備的對準(zhǔn)偏差，提高了高層板層間對準(zhǔn)精度。
為了提高線路的蝕刻能力，有必要在工程設(shè)計中對線路的寬度和焊盤(或焊環(huán))給予適當(dāng)?shù)难a(bǔ)償，并考慮特殊圖形的補(bǔ)償量，如更詳細(xì)地回型線路和獨(dú)立線路。確認(rèn)內(nèi)線寬、線距、隔離環(huán)尺寸、獨(dú)立線和孔到線距離的設(shè)計補(bǔ)償是否合理，或變更工程設(shè)計。有阻抗和感抗設(shè)計要求，注意獨(dú)立線和阻抗線的設(shè)計補(bǔ)償是否充分，蝕刻，控制參數(shù)，第一塊確認(rèn)合格后才能進(jìn)行批量生產(chǎn)。為了減少蝕刻，的側(cè)蝕，有必要將蝕刻液體的成分控制在最佳范圍內(nèi)。傳統(tǒng)的蝕刻線設(shè)備蝕刻產(chǎn)能不足，可以進(jìn)行技術(shù)改造或引進(jìn)高精度蝕刻線設(shè)備，提高蝕刻均勻度，減少蝕刻毛邊、蝕刻不干凈等問題